طبق اخبار رسمی دانشگاه Tsinghua، اخیراً اولین دستگاه نازک کننده ویفر فوق دقیق 12 اینچی (300 میلی متر) توسط Huahai Qingke، یک شرکت پروژه تحول دستاورد دانشگاه Tsinghua به سرپرستی پروفسور Lu Xinchun از گروه مهندسی مکانیک Tsinghua ساخته شده است. دانشگاه، رسما ارسال شده است. ، به یک شرکت مدار مجتمع داخلی پیشرو ارسال شد!

پس از اینکه تیم پروفسور Lu Xinchun و Huahai Qingke مشکل "گردن گیر" تجهیزات پولیش مدار مجتمع کشور من را حل کردند، این یک دستاورد موفقیت‌آمیز دیگر است. الزامات فرآیند نازک کردن دقیق

دستگاه نازک کننده ویفر فوق دقیق 12 اینچی یک تجهیزات کلیدی ضروری برای تولید مدار مجتمع است. بسیار پیچیده است، حل مشکلات فنی دشوار است و آستانه ورود به بازار بالایی دارد. مدت‌هاست که در انحصار تولیدکنندگان خارجی بوده و بازار داخلی به شدت به واردات وابسته است.

به منظور شکستن گلوگاه فنی در زمینه تجهیزات نازک کردن، پروفسور لو شینچون Huahai Qingke را هدایت کرد، با استفاده از تجربه صنعتی سازی در زمینه پرداخت مکانیکی شیمیایی، برای تمرکز بر تحقیق در مورد تئوری و فناوری نازک شدن فوق العاده دقیق، برای غلبه بر فوق العاده. -سنگ زنی دقیق پشت ویفر، با فناوری های اصلی کنترل صافی هوشمند، سری کنترل آسیب سطح و نقص، اولین دستگاه نازک کننده ویفر فوق العاده دقیق برای تولید آی سی سه بعدی 12 اینچی، بسته بندی پیشرفته و سایر زمینه ها برای حل مشکلات توسعه یافته است. مشکل "گردن گیر" در این زمینه.

تیم پروفسور لو شینچون از سال 2000 تحقیقات پایه ای را در مورد پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP) انجام داده است، بیش از ده کار علمی و فناوری اصلی ملی را انجام داده، Huahai Qingke را با موفقیت انکوبه کرده است، و اولین 12 اینچ کشور من "خشک و خشک" را توسعه داده است. CMP برای تجهیزات و محصولات سری، فناوری کلی به سطح پیشرفته بین المللی رسیده است، تولید انبوه فرآیند 28 نانومتری به دست آمده است و قابلیت گسترش فرآیند 14-7 نانومتری تعدادی رکورد تجهیزات داخلی ایجاد کرده است.

در مجموع بیش از 110 مجموعه از این تجهیزات در خطوط تولید بزرگ تولید مدار مجتمع پیشرفته استفاده می شود و سهم بازار و نرخ جایگزینی واردات آن هر دو در خط مقدم تجهیزات آی سی داخلی قرار دارند.

مجموعه ای از دستاوردها شکاف داخلی را پر کرد، انحصار غول های بین المللی را شکست و کاربرد صنعتی انبوه تجهیزات پرداخت داخلی را برای اولین بار متوجه شد.

تیم پروفسور لو شینچون همچنین به طور فعال تغییر نتایج تحقیقات علمی را ترویج کرد، به ارتباط عمودی بین تحقیقات اساسی و تقاضای صنعتی پی برد و Huahai Qingke را که در حال حاضر تنها تولید کننده تجهیزات نیمه هادی پیشرفته در کشور من با CMP 12 اینچی است، انکوبه کرد. مدل تجاری

سلب مسئولیت: این مقاله از "انجمن نیمه هادی چین" تکثیر شده است، این مقاله تنها بیانگر دیدگاه های شخصی نویسنده است، نه دیدگاه های Sac Micro و صنعت، فقط برای چاپ مجدد و اشتراک گذاری، پشتیبانی برای حمایت از حقوق مالکیت معنوی، لطفا منبع اصلی را ذکر کنید. و نویسنده برای تجدید چاپ. در صورت وجود هرگونه تخلف، لطفا با ما تماس بگیرید تا آن را حذف کنیم.