1. Tungku kristal tunggal

Nama peralatan: Tungku kristal tunggal

Fungsi peralatan: melelehkan material semikonduktor, menarik kristal tunggal, dan menyediakan blanko semikonduktor kristal tunggal untuk pembuatan perangkat semikonduktor selanjutnya.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: PVA TePla AG Jerman, Ferrotec Jepang, QUANTUM DESIGN Amerika, Gero Jerman, KAYEX Amerika...

Domestik: Beijing Jingyuntong, Qixing Huachuang, Abad Jingyi Beijing, Sinar Matahari Hebei Jinglong, Universitas Sains dan Teknologi Xi'an Jinko, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi'an Huade, Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China, Magnetik Termal Shanghai Shenhe, Shangyu Jingsheng, Jinjiang Netek, Ningxia Jingyang, Changzhou Jiangnan, Hefei Kejing Material Technology Co., Ltd., Perusahaan Shenyang Keyi...

2. Tungku epitaksi fase uap

Nama peralatan: Tungku epitaksi fase uap

Fungsi peralatan: Menyediakan lingkungan proses spesifik untuk pertumbuhan epitaksi fase uap, mewujudkan pertumbuhan kristal lapisan tipis pada kristal tunggal yang memiliki hubungan yang sesuai dengan fase kristal kristal tunggal, dan melakukan persiapan dasar untuk fungsionalisasi deposisi dasar kristal tunggal. Epitaksi fase uap adalah proses khusus deposisi uap kimia. Struktur kristal lapisan tipis yang tumbuh merupakan kelanjutan dari substrat kristal tunggal dan mempertahankan hubungan yang sesuai dengan orientasi kristal substrat.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: American CVD Equipment Company, American GT Company, French Soitec Company, French AS Company, American ProtoFlex Company, American Kurt J. Lesker Company, American Applied Materials Company...

Dalam Negeri: Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China, Qingdao Serida, Hefei Kejing Materials Technology Co., Ltd., Beijing Jinsheng Micro-Nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., Ltd.......

3. Sistem Epitaksi Berkas Molekuler (MBE, Sistem Epitaksi Berkas Molekuler)

Nama peralatan: Sistem epitaksi berkas molekuler

Fungsi peralatan: Sistem epitaksi berkas molekuler menyediakan peralatan proses untuk menumbuhkan lapisan tipis sesuai dengan kondisi spesifik pada permukaan substrat; epitaksi berkas molekuler adalah teknologi untuk menyiapkan lapisan tipis kristal tunggal. Teknologi ini menumbuhkan lapisan tipis lapis demi lapis sepanjang arah sumbu kristal material substrat di bawah substrat yang sesuai dan kondisi yang tepat.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Riber Prancis, Perusahaan Veeco Amerika, Perusahaan DCA Instruments Finlandia, Perusahaan SVT Associates Amerika, Perusahaan NBM Amerika, Perusahaan Omicron Jerman, Perusahaan MBE-Komponenten Jerman, Perusahaan Oxford Applied Research (OAR) Inggris...

Dalam negeri: Shenyang Zhongke Instrument, Beijing Huidexin Technology Co., Ltd., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., Ltd., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., Ltd.......

4. Tungku oksidasi (VDF)

Nama peralatan: Tungku oksidasi

Fungsi peralatan: mengoksidasi material semikonduktor, menyediakan atmosfer oksidasi yang dibutuhkan, dan mewujudkan proses oksidasi semikonduktor sesuai harapan. Ini merupakan mata rantai yang sangat penting dalam proses pengolahan semikonduktor.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Thermco Inggris, Perusahaan Centrothermthermal Solutions GmbH Co.KG Jerman...

Dalam Negeri: Beijing Qixing Huachuang, Qingdao Furunde, China Electronics Technology Group 48th Institute, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., Ltd., China Electronics Technology Group 45th Institute...

5. Sistem Deposisi Uap Kimia Tekanan Rendah (LPCVD, Low Pressure Chemical Vapor Deposition System)

Nama peralatan: Sistem pengendapan uap kimia bertekanan rendah

Fungsi peralatan: Memasukkan uap yang mengandung reagen gas atau reagen cair yang membentuk elemen film tipis dan gas lain yang dibutuhkan untuk reaksi ke dalam ruang reaksi peralatan LPCVD, dan reaksi kimia terjadi pada permukaan substrat untuk menghasilkan film tipis.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Hitachi International Electric Co., Ltd., Jepang…

Dalam Negeri: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument Factory, Shanghai Machinery Factory...

6. Sistem pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma (PECVD, Plasma Enhanced CVD)

Nama peralatan: Sistem pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma

Fungsi peralatan: Menggunakan lucutan pijar di dalam ruang pengendapan untuk mengionisasinya dan kemudian melakukan reaksi kimia pada substrat untuk mengendapkan material film tipis semikonduktor.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Proto Flex Company dari Amerika Serikat, Tokki Company dari Jepang, Shimadzu Company dari Jepang, Lam Research Company dari Amerika Serikat, ASM International Company dari Belanda...

Dalam Negeri: Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Pabrik Instrumen Beijing, Pabrik Mesin Shanghai...

7. Alat Magnetron Sputter

Nama peralatan: Tahap sputtering magnetron

Fungsi peralatan: Melalui medan magnet tertutup yang sejajar dengan permukaan target selama proses sputtering dioda dan medan elektromagnetik ortogonal yang terbentuk pada permukaan target, elektron sekunder terikat pada area tertentu di permukaan target untuk mencapai kepadatan ion tinggi dan ionisasi energi tinggi, dan atom atau molekul target di-sputtering dan diendapkan pada substrat dengan laju tinggi untuk membentuk lapisan tipis.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: American PVD Company, American Vaportech Company, American AMAT Company, Dutch Hauzer Company, British Teer Company, Swiss Platit Company, Swiss Balzers Company, German Cemecon Company...

Dalam negeri: Pabrik Instrumen Beijing, Instrumen Shenyang Zhongke, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute, Kerui Equipment Co., Ltd., Pabrik Mesin Shanghai...

8. Mesin Pemoles Mekanik Kimia (CMP, Chemical Mechanical Planarization)

Nama peralatan: Mesin pemoles mekanik kimia

Fungsi peralatan: Menggerinda dan memoles objek yang akan digerinda (semikonduktor) melalui gabungan efek penggerindaan mekanis dan pelarutan cairan kimia serta "korosi".

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: American Applied Materials Company, American Novartis Systems Company, American Rtec Company...

Dalam Negeri: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Elite Microelectronics...

9. Mesin litografi (Stepper, Scanner)

Nama peralatan: Mesin litografi

Fungsi peralatan: Mengoleskan lem pada permukaan substrat semikonduktor (wafer silikon), mentransfer pola pada masker ke photoresist, dan untuk sementara "menyalin" struktur perangkat atau sirkuit ke wafer silikon.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan ASML dari Belanda, Perusahaan Semikonduktor Lam dari Amerika Serikat, Perusahaan Nikon dari Jepang, Perusahaan Canon dari Jepang, Perusahaan ABM dari Amerika Serikat, Perusahaan SUSS dari Jerman, Perusahaan MYCRO dari Amerika Serikat...

Dalam Negeri: Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China, Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Pabrik Mesin Shanghai, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd.......

10. Sistem etsa ion reaktif (RIE, Reactive Ion Etch System)

Nama peralatan: Sistem etsa ion reaktif

Fitur perangkat: Tegangan frekuensi tinggi diterapkan di antara elektroda datar untuk menghasilkan lapisan ion setebal ratusan mikron. Ketika pola ditempatkan, ion-ion tersebut menumbuk pola dengan kecepatan tinggi untuk mencapai etsa reaksi kimia dan benturan fisik, sehingga menghasilkan pemrosesan dan pembentukan semikonduktor.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Evatech Jepang, Perusahaan NANOmaster Amerika, Perusahaan REC Singapura, Perusahaan JuSung Korea Selatan, Perusahaan TES Korea Selatan...

Dalam negeri: Pabrik Instrumen Beijing, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute...

11. Sistem etsa plasma ICP (ICP, Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching System)

Nama peralatan: Sistem etsa plasma ICP

Fungsi peralatan: Satu atau lebih atom atau molekul gas dicampur dalam ruang reaksi dan membentuk plasma di bawah pengaruh energi eksternal (seperti frekuensi radio, gelombang mikro, dll.). Di satu sisi, gugus aktif dalam plasma bereaksi secara kimia dengan material permukaan yang akan dietsa untuk menghasilkan produk volatil; di sisi lain, ion-ion dalam plasma dipandu dan dipercepat di bawah pengaruh tegangan bias, sehingga menghasilkan korosi terarah dan korosi yang dipercepat pada permukaan yang akan dietsa.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Oxford Instruments Company dari Inggris Raya, Torr Company dari Amerika Serikat, Gatan Company dari Amerika Serikat, Quorum Company dari Inggris Raya, Leman Company dari Amerika Serikat, Pelco Company dari Amerika Serikat...

Dalam Negeri: Pabrik Instrumen Beijing, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China, Godel Plasma Technology (Hong Kong) Holdings Co., Ltd., Institut Mikroelektronika, Akademi Ilmu Pengetahuan China, Mikroelektronika Utara, Beijing Oriental Zhongke Integrated Technology Co., Ltd., Beijing Chuangshi Weiner Technology...

12. Implan Sinar Ion (IBI, Ion Beam Implanting)

Nama peralatan: Penanam ion

Fungsi perangkat: Mendoping area di dekat permukaan semikonduktor

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: American Varian Semiconductor Equipment Company, American CHA Company, American AMAT Company, Varian Semiconductor Manufacturing Equipment Company (diakuisisi oleh AMAT)...

Dalam Negeri: Pabrik Instrumen Beijing, Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., Ltd., Shanghai Silicon Tuo Microelectronics Co., Ltd.......

13. Meja uji probe (VPT, Wafer probe Test)

Nama peralatan: Meja uji probe

Fungsi peralatan: Melakukan pengujian listrik dengan menyentuhkan probe ke bantalan perangkat semikonduktor untuk mendeteksi apakah indikator kinerja semikonduktor memenuhi persyaratan kinerja desain.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Ingun Jerman, Perusahaan QA Amerika, Perusahaan MicroXact Amerika, Perusahaan Ecopia Korea, Perusahaan Leeno Korea...

Dalam Negeri: Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Rico Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmeixier Technology...

14. Mesin penipisan wafer (Penggilingan Sisi Belakang)

Nama peralatan: Mesin penipisan wafer

Fungsi peralatan: mengurangi ketebalan wafer melalui pemolesan.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan DISCO Jepang, Perusahaan G&N Jerman, Perusahaan OKAMOTO Jepang, Perusahaan Camtek Israel...

Dalam negeri: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Shenzhen Fangda Grinding Equipment Manufacturing Co., Ltd., Shenzhen Jinlili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., Ltd., Weianda Grinding Equipment Co., Ltd., Shenzhen Huanianfeng Technology Co., Ltd.......

15. Mesin pemotong wafer (DS, Die Sawwing)

Nama peralatan: Mesin pemotong wafer

Fungsi peralatan: Memotong wafer menjadi potongan-potongan kecil.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan OEG Jerman, perusahaan DISCO Jepang...

Dalam Negeri: Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Beijing Kechuangyuan Optoelectronics Technology Co., Ltd., Institut Penelitian Teknologi Instrumentasi Shenyang, Northwest Machinery Co., Ltd. (dahulu Pabrik Mesin Barat Laut 709 milik Negara), Huisheng Electronic and Electronic Machinery Equipment Co., Ltd., Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Han's Laser, Shenzhen Ruby Laser Equipment Co., Ltd., Wuhan Sangong, Zhuhai Lailian Optoelectronics, Zhuhai Yuemao Technology...

16. Pengikat Kawat

Nama peralatan: Mesin pengikat kawat

Fungsi peralatan: Menghubungkan Pad pada chip semikonduktor dan Pad pada pin dengan kawat logam konduktif (kawat emas).

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Aotei Amerika, Perusahaan TPT Jerman, Perusahaan FK Austria, Perusahaan Unisem Malaysia...

Dalam Negeri: Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Beijing Chuangshijie Technology Development Co., Ltd., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., Ltd. (Investasi Unison Malaysia), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., Ltd....

Penafian: Artikel ini direproduksi dari "New Materials Online", yang mendukung perlindungan hak kekayaan intelektual. Harap sebutkan sumber asli dan penulis dari cetakan ulang tersebut. Jika ada pelanggaran, silakan hubungi kami untuk menghapusnya.