1. Tek kristalli fırın

Ekipman adı: Tek kristalli fırın

Ekipmanın işlevleri: yarı iletken malzemeleri eritmek, tek kristaller elde etmek ve daha sonraki yarı iletken cihaz üretiminde kullanılmak üzere tek kristal yarı iletken ham maddeler sağlamak.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Alman PVA TePla AG, Japon Ferrotec, Amerikan QUANTUM DESIGN, Alman Gero, Amerikan KAYEX...

Yurtiçi: Pekin Jingyuntong, Qixing Huachuang, Pekin Jingyi Yüzyıl, Hebei Jinglong Sunshine, Xi'an Bilim ve Teknoloji Üniversitesi Jinko, Changzhou Huasheng Tianlong, Şangay Hanhong, Xi'an Huade, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Şanghay Shenhe Termal Manyetik, Shangyu Jingsheng, Jinjiang Netek, Ningxia Jingyang, Changzhou Jiangnan, Hefei Kejing Malzeme Teknolojisi Co., Ltd., Shenyang Keyi Şirketi...

2. Buhar fazlı epitaksi fırını

Ekipman adı: Buhar fazlı epitaksi fırını

Ekipmanın işlevi: Buhar fazlı epitaksi büyümesi için özel bir işlem ortamı sağlamak, tek kristalin kristal fazıyla uyumlu bir ilişkiye sahip ince tabaka kristallerinin tek kristaller üzerinde büyümesini gerçekleştirmek ve tek kristal alt tabaka biriktirme işleminin işlevselleştirilmesi için temel hazırlıkları yapmak. Buhar fazlı epitaksi, kimyasal buhar biriktirme işleminin özel bir yöntemidir. Büyütülen ince tabakanın kristal yapısı, tek kristal alt tabakanın bir devamı niteliğindedir ve alt tabakanın kristal yönelimiyle uyumlu bir ilişkiyi korur.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: American CVD Equipment Company, American GT Company, French Soitec Company, French AS Company, American ProtoFlex Company, American Kurt J. Lesker Company, American Applied Materials Company...

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Qingdao Serida, Hefei Kejing Malzeme Teknolojisi A.Ş., Pekin Jinsheng Mikro-Nano, Jinan Liguan Elektronik Teknolojisi A.Ş.......

3. Moleküler Işın Epitaksi Sistemi (MBE, Moleküler Işın Epitaksi Sistemi)

Ekipman adı: Moleküler ışın epitaksi sistemi

Ekipman fonksiyonları: Moleküler ışın epitaksi sistemi, alt tabakanın yüzeyinde belirli koşullar altında ince filmlerin büyütülmesi için proses ekipmanı sağlar; moleküler ışın epitaksi, tek kristalli ince filmlerin hazırlanması için kullanılan bir teknolojidir. Uygun alt tabakalar ve uygun koşullar altında, alt tabaka malzemesinin kristal ekseni yönünde katman katman ince filmler büyütür.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Fransız Riber Şirketi, Amerikan Veeco Şirketi, Finlandiyalı DCA Instruments Şirketi, Amerikan SVT Associates Şirketi, Amerikan NBM Şirketi, Alman Omicron Şirketi, Alman MBE-Komponenten Şirketi, İngiliz Oxford Applied Research (OAR) Şirketi...

Yurtiçi: Shenyang Zhongke Instrument, Beijing Huidexin Technology Co., Ltd., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., Ltd., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., Ltd.......

4. Oksidasyon fırını (VDF)

Equipment name: Oxidation furnace

Cihazın işlevi: Yarı iletken malzemeleri oksitlemek, gerekli oksidasyon ortamını sağlamak ve yarı iletkenin oksidasyon sürecini beklendiği gibi gerçekleştirmektir. Yarı iletken işleme sürecinde vazgeçilmez bir bağlantıdır.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: İngiliz Thermco Şirketi, Alman Centrothermthermal Solutions GmbH Co.KG Şirketi...

Yurtiçi: Beijing Qixing Huachuang, Qingdao Furunde, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Qingdao Xuguang Enstrüman Ekipmanları Şirketi, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü...

5. Düşük Basınçlı Kimyasal Buhar Biriktirme Sistemi (LPCVD, Düşük Basınçlı Kimyasal Buhar Biriktirme Sistemi)

Equipment name: Low pressure chemical vapor deposition system

Cihazın işlevi: İnce film elemanlarını oluşturan gaz veya sıvı reaktif ile reaksiyon için gerekli diğer gazları içeren buharı LPCVD cihazının reaksiyon odasına verin ve alt tabaka yüzeyinde kimyasal bir reaksiyon meydana gelerek ince bir film oluşturun.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Hitachi International Electric Co., Ltd., Japonya…

Yurtiçi: Şanghay Chijian Yarı İletken Teknolojisi Şirketi, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Enstrüman Fabrikası, Şanghay Makine Fabrikası...

6. Plasma enhanced chemical vapor deposition system (PECVD, Plasma Enhanced CVD)

Equipment name: Plasma enhanced chemical vapor deposition system

Cihazın işlevi: Kaplama odasında parıldayan deşarj kullanarak yüzeyi iyonlaştırır ve ardından alt tabaka üzerinde kimyasal reaksiyon gerçekleştirerek yarı iletken ince film malzemelerini kaplar.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Amerika Birleşik Devletleri'nden Proto Flex Şirketi, Japonya'dan Tokki Şirketi, Japonya'dan Shimadzu Şirketi, Amerika Birleşik Devletleri'nden Lam Research Şirketi, Hollanda'dan ASM International Şirketi...

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Enstrüman Fabrikası, Şanghay Makine Fabrikası...

7. Magnetron Püskürtme Cihazı

Ekipman adı: Magnetron püskürtme tablası

Cihazın işlevi: Diyot püskürtme işlemi sırasında hedef yüzeye paralel kapalı bir manyetik alan ve hedef yüzeyde oluşan dik elektromanyetik alan sayesinde, ikincil elektronlar hedef yüzeyin belirli bir bölgesine bağlanarak yüksek iyon yoğunluğu ve yüksek enerjili iyonlaşma sağlanır; ayrıca hedef atomlar veya moleküller yüksek hızda püskürtülerek alt tabaka üzerine biriktirilir ve ince bir film oluşturulur.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: American PVD Company, American Vaportech Company, American AMAT Company, Dutch Hauzer Company, British Teer Company, Swiss Platit Company, Swiss Balzers Company, German Cemecon Company...

Yurtiçi: Pekin Enstrüman Fabrikası, Shenyang Zhongke Enstrüman, Chengdu Nanguang Sanayi A.Ş., Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Kerui Ekipman A.Ş., Şanghay Makine Fabrikası...

8. Kimyasal Mekanik Parlatma Makinesi (CMP, Kimyasal Mekanik Düzleştirme)

Ekipman adı: Kimyasal mekanik parlatma makinesi

Ekipmanın işlevi: Mekanik taşlama ve kimyasal sıvı çözünmesi ve "aşındırma"nın birleşik etkileriyle taşlanacak nesneyi (yarı iletken) taşlamak ve parlatmak.

Başlıca şirketler (markalar):

International: American Applied Materials Company, American Novartis Systems Company, American Rtec Company...

Yurtiçi: Lanzhou Lanxin Yüksek Teknoloji Sanayi A.Ş., Elite Mikroelektronik...

9. Litografi makinesi (Adım motoru, Tarayıcı)

Ekipman adı: Litografi makinesi

Cihazın işlevi: Yarı iletken alt tabakanın (silikon levha) yüzeyine yapıştırıcı uygulamak, maske üzerindeki deseni fotoreziste aktarmak ve cihaz veya devre yapısını geçici olarak silikon levhaya "kopyalamak".

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Hollanda'dan ASML Şirketi, Amerika Birleşik Devletleri'nden Lam Semiconductor Şirketi, Japonya'dan Nikon Şirketi, Japonya'dan Canon Şirketi, Amerika Birleşik Devletleri'nden ABM Şirketi, Almanya'dan SUSS Şirketi, Amerika Birleşik Devletleri'nden MYCRO Şirketi...

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Şanghay Makine Fabrikası, Chengdu Nanguang Sanayi A.Ş.......

10. Reaktif iyon aşındırma sistemi (RIE, Reactive Ion Etch System)

Ekipman adı: Reaktif iyon aşındırma sistemi

Device features:. A high-frequency voltage is applied between the flat electrodes to generate an ion layer hundreds of microns thick. When the pattern is placed, the ions hit the pattern at high speed to achieve chemical reaction etching and physical impact, thereby achieving semiconductor processing and shaping.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Japonya Evatech Şirketi, Amerika Birleşik Devletleri NANOmaster Şirketi, Singapur REC Şirketi, Güney Kore JuSung Şirketi, Güney Kore TES Şirketi...

Yurtiçi: Pekin Enstrüman Fabrikası, Pekin Qixing Huachuang Elektronik Şirketi, Chengdu Nanguang Sanayi Şirketi, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü...

11. ICP plazma aşındırma sistemi (ICP, İndüktif Olarak Eşleştirilmiş Plazma Reaktif İyon Aşındırma Sistemi)

Ekipman adı: ICP plazma aşındırma sistemi

Cihazın çalışma prensibi: Reaksiyon odasında bir veya daha fazla gaz atomu veya molekülü karıştırılır ve dış enerji (radyo frekansı, mikrodalga vb.) etkisi altında plazma oluşturulur. Bir yandan, plazmadaki aktif gruplar, aşındırılacak yüzey malzemesiyle kimyasal olarak reaksiyona girerek uçucu ürünler üretir; diğer yandan, plazmadaki iyonlar, önyargı voltajının etkisi altında yönlendirilir ve hızlandırılır, böylece aşındırılacak yüzeyin yönlü korozyonu ve hızlandırılmış korozyonu sağlanır.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Birleşik Krallık'tan Oxford Instruments Company, Amerika Birleşik Devletleri'nden Torr Company, Amerika Birleşik Devletleri'nden Gatan Company, Birleşik Krallık'tan Quorum Company, Amerika Birleşik Devletleri'nden Leman Company, Amerika Birleşik Devletleri'nden Pelco Company...

Yurtiçi: Pekin Enstrüman Fabrikası, Pekin Qixing Huachuang Elektronik Şirketi, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Godel Plazma Teknolojisi (Hong Kong) Holding Şirketi, Çin Bilimler Akademisi Mikroelektronik Enstitüsü, Kuzey Mikroelektronik, Pekin Oriental Zhongke Entegre Teknoloji Şirketi, Pekin Chuangshi Weiner Teknoloji...

12. İyon Işın İmplantasyonu (IBI, İyon Işın İmplantasyonu)

Cihaz adı: İyon implantasyon cihazı

Cihazın işlevi: Yarı iletken yüzeyine yakın bölgenin katkılanması.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: American Varian Semiconductor Equipment Company, American CHA Company, American AMAT Company, Varian Semiconductor Manufacturing Equipment Company (AMAT tarafından satın alındı)...

Yurtiçi: Pekin Enstrüman Fabrikası, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Chengdu Nanguang Sanayi A.Ş., Shenyang Fangji Hafif Sanayi Makineleri A.Ş., Şanghay Silikon Tuo Mikroelektronik A.Ş.......

13. Prob test tezgahı (VPT, Wafer prob testi)

Equipment name: Probe test bench

Cihazın işlevi: Yarı iletken cihazın performans göstergelerinin tasarım performans gereksinimlerini karşılayıp karşılamadığını tespit etmek için probu yarı iletken cihazın pedine temas ettirerek elektriksel test yapmak.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Alman Ingun Şirketi, Amerikan QA Şirketi, Amerikan MicroXact Şirketi, Koreli Ecopia Şirketi, Koreli Leeno Şirketi...

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Qixing Huachuang Elektronik Şirketi, Rico Instruments, Huarong Grubu, Shenzhen Senmeixier Teknoloji...

14. Yonga inceltme makinesi (Arka yüzey taşlama)

Ekipman adı: Yarı iletken levha inceltme makinesi

Ekipmanın işlevi: Parlatma yoluyla silikon levhanın kalınlığını azaltmak.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Japon DISCO Şirketi, Alman G&N Şirketi, Japon OKAMOTO Şirketi, İsrail Camtek Şirketi...

Yurtiçi: Lanzhou Lanxin Yüksek Teknoloji Sanayi A.Ş., Shenzhen Fangda Taşlama Ekipmanları İmalat A.Ş., Shenzhen Jinlili Hassas Taşlama Makinesi İmalat A.Ş., Weianda Taşlama Ekipmanları A.Ş., Shenzhen Huanianfeng Teknoloji A.Ş.......

15. Yonga kesme makinesi (DS, Die Sawwing)

Ekipman adı: Gofret kesme makinesi

Ekipmanın işlevi: Yonga levhasını küçük parçalara ayırmak.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Alman OEG şirketi, Japon DISCO şirketi...

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Kechuangyuan Optoelektronik Teknolojisi A.Ş., Shenyang Enstrümantasyon Teknolojisi Araştırma Enstitüsü, Kuzeybatı Makine A.Ş. (eski adıyla Devlete Ait Kuzeybatı Makine Fabrikası 709), Huisheng Elektronik ve Elektronik Makine Ekipmanları A.Ş., Lanzhou Lanxin Yüksek Teknoloji Sanayi A.Ş., Han's Laser, Shenzhen Ruby Laser Ekipmanları A.Ş., Wuhan Sangong, Zhuhai Lailian Optoelektronik, Zhuhai Yuemao Teknoloji...

16. Tel Bağlayıcı

Ekipman adı: Tel bağlama makinesi

Cihazın işlevi: Yarı iletken çip üzerindeki bağlantı noktasını ve pin üzerindeki bağlantı noktasını iletken metal tellerle (altın tel) birbirine bağlayın.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Amerikan Aotei Şirketi, Alman TPT Şirketi, Avusturya FK Şirketi, Malezya Unisem Şirketi...

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Chuangshijie Teknoloji Geliştirme Şirketi, Yuxin (Chengdu) Entegre Devre Paketleme ve Test Şirketi (Malezya Unison Yatırımı), Shenzhen Kaijiu Otomasyon Ekipmanları Şirketi...

Yasal Uyarı: Bu makale, fikri mülkiyet haklarının korunmasını destekleyen "New Materials Online" kaynağından yeniden yayınlanmıştır. Yeniden yayınlarken lütfen orijinal kaynağı ve yazarı belirtin. Herhangi bir telif hakkı ihlali durumunda, lütfen silinmesi için bizimle iletişime geçin.