1. תנור גביש יחיד

שם הציוד: תנור גביש יחיד

פונקציות ציוד: התכת חומרי מוליכים למחצה, משיכת גבישים יחידים ואספקת ריקים של מוליכים למחצה בגביש יחיד לייצור התקני מוליכים למחצה לאחר מכן.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: PVA TePla AG הגרמנית, Ferrotec היפנית, QUANTUM DESIGN האמריקאית, Gero הגרמנית, KAYEX האמריקאית...

מקומי: בייג'ינג Jingyuntong, Qixing Huachuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi'an University of Science and Technology Jinko, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi'an Huade, China Electronics Technology Group 48th Institute, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic, Jhanginji Nethengaek, Jhanginji Nethengaek, Jiangnan, Hefei Kejing Material Technology Co., Ltd., Shenyang Keyi Company...

2. תנור אפיטקסיה פאזה אדים

שם הציוד: תנור אפיטקסיה פאזה אדים

פונקציית הציוד: לספק סביבת תהליך ספציפית לגידול אפיטקסיה של פאזה אדים, לממש את גידול גבישים דקים על גבישים בודדים בעלי קשר מתאים לפאזה הגבישית של הגביש הבודד, ולבצע הכנות בסיסיות לפונקציונליזציה של שקיעת תחתית גביש בודד. אפיטקסיה של פאזה אדים היא תהליך מיוחד של שקיעת אדים כימית. מבנה הגביש של השכבה הדקה שגדלה הוא המשך של מצע הגביש הבודד ושומר על קשר מתאים עם כיוון הגביש של המצע.

חברות (מותגים) עיקריות:

International: American CVD Equipment Company, American GT Company, French Soitec Company, French AS Company, American ProtoFlex Company, American Kurt J. Lesker Company, American Applied Materials Company...

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-48 של המכון הסיני, צ'ינגדאו סרידה, חברת Hefei Kejing Materials Technology Co., Ltd., בייג'ינג ג'ינסנג מיקרו-ננו, חברת Jinan Liguan Electronic Technology Co., Ltd.......

3. Molecular Beam Epitaxy System (MBE, Molecular Beam Epitaxy System)

שם הציוד: מערכת אפיטקסיה של קרן מולקולרית

פונקציות הציוד: מערכת אפיטקסיה של קרן מולקולרית מספקת ציוד תהליך לגידול שכבות דקות בהתאם לתנאים ספציפיים על פני השטח של המצע; אפיטקסיה של קרן מולקולרית היא טכנולוגיה להכנת שכבות דקות גבישיות יחידות. היא מגדלת שכבות דקות שכבה אחר שכבה לאורך כיוון ציר הגביש של חומר המצע תחת מצעים מתאימים ותנאים מתאימים.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Riber הצרפתית, חברת Veeco האמריקאית, חברת DCA Instruments הפינית, חברת SVT Associates האמריקאית, חברת NBM האמריקאית, חברת Omicron הגרמנית, חברת MBE-Komponenten הגרמנית, חברת Oxford Applied Research (OAR) הבריטית...

מקומי: שניאנג ג'ונגקה מכשיר, בייג'ינג הוידקסין טכנולוגיה בע"מ, שאוקסינג קואנגטאי מכשיר ציוד בע"מ, שניאנג קיאו ואקום טכנולוגיה בע"מ.......

4. תנור חמצון (VDF)

שם הציוד: תנור חמצון

תפקיד הציוד: חמצון חומרי מוליכים למחצה, מתן אווירת החמצון הנדרשת, ומימוש תהליך החמצון של המוליך למחצה כצפוי. זהו חוליה הכרחית בתהליך עיבוד המוליכים למחצה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Thermco הבריטית, חברת Centrothermthermal Solutions GmbH Co.KG הגרמנית...

מקומי: בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג, צ'ינגדאו פורונדה, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-48, צ'ינגדאו שוגאנג ציוד מכשירים בע"מ, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-45...

5. מערכת לשקיעת אדים כימית בלחץ נמוך (LPCVD, מערכת לשקיעת אדים כימית בלחץ נמוך)

שם הציוד: מערכת שקיעת אדים כימית בלחץ נמוך

תפקיד הציוד: החדרת האדים המכילים את הריאגנט הגזי או הריאגנט הנוזלי המהווה את יסודות הסרט הדק וגזים אחרים הנדרשים לתגובה לתא התגובה של ציוד ה-LPCVD, ותגובה כימית מתרחשת על פני המצע ליצירת סרט דק.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Hitachi International Electric Co., Ltd., יפן…

מקומי: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., Ltd., קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-48, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-45, מפעל מכשירים בבייג'ינג, מפעל מכונות בשנחאי...

6. מערכת שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD, Plasma Enhanced CVD)

Equipment name: Plasma enhanced chemical vapor deposition system

פונקציית הציוד: שימוש בפריקת זוהר בתא השיקוע כדי ליינן אותה ולאחר מכן ביצוע תגובה כימית על המצע כדי להפקיד חומרי שכבה דקה של מוליכים למחצה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת פרוטו פלקס מארצות הברית, חברת טוקי מיפן, חברת שימאדזו מיפן, חברת לאם ריצ'רץ' מארצות הברית, חברת ASM הבינלאומית מהולנד...

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין, המכון ה-45, מפעל מכשירים בבייג'ינג, מפעל מכונות בשנגחאי...

7. מכשיר מגנטרון-ספוטר

שם הציוד: שלב התזה מגנטרון

תפקוד הציוד: באמצעות שדה מגנטי סגור במקביל למשטח המטרה במהלך התזה של דיודה והשדה האלקטרומגנטי האורתוגונלי שנוצר על פני המטרה, האלקטרונים המשניים קשורים לאזור מסוים על פני המטרה כדי להשיג צפיפות יונים גבוהה ויינון באנרגיה גבוהה, ואטומי או מולקולות המטרה מתזהים ומונחים על המצע בקצב גבוה ליצירת שכבה דקה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת PVD אמריקאית, חברת Vaportech אמריקאית, חברת AMAT אמריקאית, חברת Hauzer ההולנדית, חברת Teer הבריטית, חברת Platit השוויצרית, חברת Balzers השוויצרית, חברת Cemecon הגרמנית...

מקומי: מפעל כלי נגינה בבייג'ינג, שניאנג ג'ונגקה כלי נגינה, צ'נגדו נאנגואנג תעשייתי בע"מ, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-48, קרוי ציוד בע"מ, מפעל מכונות שנגחאי...

8. מכונת ליטוש כימית-מכנית (CMP, פלנריזציה כימית-מכנית)

שם הציוד: מכונת ליטוש כימית מכנית

תפקיד הציוד: ליטוש וליטוש האובייקט המיועד לטחינה (מוליך למחצה) באמצעות השפעות משולבות של טחינה מכנית והתמוססות נוזלים כימית ו"קורוזיה".

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת אמריקן אפלייד מטיריאלס, חברת אמריקן נוברטיס סיסטמס, חברת אמריקן רטק...

מקומי: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Elite Microelectronics...

9. Lithography machine (Stepper, Scanner)

שם הציוד: מכונת ליתוגרפיה

תפקיד הציוד: מריחת דבק על פני מצע המוליך למחצה (פרוסת סיליקון), העברת התבנית שעל המסכה לפוטורזיסט, ו"העתקה" זמנית של מבנה ההתקן או המעגל לפרוסת הסיליקון.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת ASML ההולנדית, חברת Lam Semiconductor מארצות הברית, חברת Nikon מיפן, חברת Canon מיפן, חברת ABM מארצות הברית, חברת SUSS מגרמניה, חברת MYCRO מארצות הברית...

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-48 של המכון הסיני, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-45 של המכון הסיני, מפעל מכונות שנחאי, חברת התעשייה צ'נגדו נאנגואנג בע"מ.......

10. מערכת איכול יונים ריאקטיביים (RIE, מערכת איכול יונים ריאקטיבית)

שם הציוד: מערכת איכול יונים ריאקטיבית

מאפייני המכשיר:. מתח בתדר גבוה מופעל בין האלקטרודות השטוחות כדי ליצור שכבת יונים בעובי של מאות מיקרונים. כאשר התבנית מונחת, היונים פוגעים בתבנית במהירות גבוהה כדי להשיג איכול תגובה כימית ופגיעה פיזיקלית, ובכך להשיג עיבוד ועיצוב של מוליכים למחצה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Evatech היפנית, חברת NANOmaster האמריקאית, חברת REC הסינגפורית, חברת JuSung הדרום קוריאנית, חברת TES הדרום קוריאנית...

מקומי: מפעל כלי נגינה בבייג'ינג, בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג אלקטרוניקה בע"מ, צ'נגדו נאנגואנג תעשייתי בע"מ, קבוצת טכנולוגיית אלקטרוניקה של סין, המכון ה-48...

11. מערכת איכול פלזמה ICP (ICP, מערכת איכול יונים תגובתיים בפלזמה מצומדת אינדוקטיבית)

שם הציוד: מערכת איכול פלזמה ICP

פונקציית הציוד: אטום או מולקולה של גז אחד או יותר מעורבבים בתא התגובה ויוצרים פלזמה תחת פעולת אנרגיה חיצונית (כגון תדר רדיו, מיקרוגל וכו'). מצד אחד, הקבוצות הפעילות בפלזמה מגיבות כימית עם חומר פני השטח המיועד לחריטה כדי לייצר תוצרים נדיפים; מצד שני, היונים בפלזמה מונחים ומואצים תחת פעולת מתח הטיה, ומשיגים קורוזיה כיוונית וקורוזיה מואצת של פני השטח המיועד לחריטה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Oxford Instruments מבריטניה, חברת Torr מארצות הברית, חברת Gatan מארצות הברית, חברת Quorum מבריטניה, חברת Leman מארצות הברית, חברת Pelco מארצות הברית...

מקומי: מפעל כלי נגינה בבייג'ינג, חברת האלקטרוניקה בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג בע"מ, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין, המכון ה-48, חברת טכנולוגיית פלזמה גודל (הונג קונג) אחזקות בע"מ, מכון המיקרואלקטרוניקה, האקדמיה הסינית למדעים, מיקרואלקטרוניקה צפונית, חברת טכנולוגיית שילוב בייג'ינג אוריינטל ז'ונגקה בע"מ, חברת טכנולוגיית ויינר בייג'ינג צ'ואנגשי...

12. השתלת קרן יונים (IBI, השתלת קרן יונים)

Equipment name: Ion implanter

Device function: Doping the area near the semiconductor surface

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת ציוד מוליכים למחצה האמריקאית וריאן, חברת CHA האמריקאית, חברת AMAT האמריקאית, חברת ציוד ייצור מוליכים למחצה וריאן (נרכשה על ידי AMAT)...

מקומי: מפעל מכשירים בבייג'ינג, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין, המכון ה-48, צ'נגדו נאנגואנג תעשייה בע"מ, שניאנג פאנגג'י מכונות לתעשייה קלה בע"מ, שנגחאי סיליקון טואו מיקרואלקטרוניקה בע"מ.......

13. Probe test bench (VPT, Wafer prober Test)

שם הציוד: ספסל בדיקת בדיקה

פונקציית הציוד: בצעו בדיקות חשמליות על ידי מגע בין הגשוש למשטח של התקן המוליך למחצה כדי לזהות האם מדדי הביצועים של המוליך למחצה עומדים בדרישות ביצועי התכנון.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Ingun הגרמנית, חברת QA אמריקאית, חברת MicroXact האמריקאית, חברת Ecopia הקוריאנית, חברת Leeno הקוריאנית...

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-45 של המכון של סין, חברת האלקטרוניקה בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג בע"מ, ריקו אינסטרומנטס, קבוצת הוארונג, חברת הטכנולוגיה שנזן סנמייקסיר...

14. מכונת דילול פרוסות (טחינה אחורית)

שם הציוד: מכונת דילול ופלים

פונקציית הציוד: הפחתת עובי הוופל באמצעות ליטוש.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת DISCO היפנית, חברת G&N הגרמנית, חברת OKAMOTO היפנית, חברת Camtek הישראלית...

מקומי: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., שנזן Fangda Grinding Equipment Manufacturing Co., Ltd., שנזן Jinlili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., Ltd., Weianda Grinding Equipment Co., Ltd., שנזן Huanianfeng Technology Co., Ltd.......

15. מכונת חיתוך פרוסות ופלים (DS, Die Sawwing)

שם הציוד: מכונת חיתוך ופלים

תפקיד הציוד: חיתוך פרוסת הוופל לחתיכות קטנות.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת OEG גרמנית, חברת DISCO יפנית...

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-45 של המכון הסיני, חברת טכנולוגיית אופטואלקטרוניקה של בייג'ינג קצ'ואנגיואן בע"מ, מכון המחקר לטכנולוגיית מכשור של שניאנג, חברת Northwest Machinery בע"מ (לשעבר מפעל Northwest Machinery 709 בבעלות המדינה), חברת Huisheng Electronic and Electronic Machinery Equipment Co. בע"מ, חברת Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co. בע"מ, חברת Han's Laser, חברת Shenzhen Ruby Laser Equipment Co. בע"מ, ווהאן סנגונג, חברת Zhuhai Lailian Optoelectronics, חברת Zhuhai Yuemao Technology...

16. מחבר חוטים

שם הציוד: מכונת קשירת חוטים

פונקציית הציוד: חברו את הפד על שבב המוליך למחצה ואת הפד על הפין באמצעות חוטי מתכת מוליכים (חוט זהב).

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Aotei האמריקאית, חברת TPT הגרמנית, חברת FK האוסטרית, חברת Unisem המלזית...

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-45 של המכון הסיני, חברת פיתוח טכנולוגיית צ'ואנגשיג'יה של בייג'ינג בע"מ, חברת יוקסין (צ'נגדו) אריזת ובדיקה של מעגלים משולבים בע"מ (השקעות יוניסון מלזיה), חברת שנג'ן קאיג'יו אוטומציה ציוד בע"מ....

הצהרת אחריות: מאמר זה משוכפל מתוך "New Materials Online", התומך בהגנה על זכויות קניין רוחני. אנא ציינו את המקור המקורי ואת מחבר ההדפסה המחודשת. אם ישנה הפרה כלשהי, אנא צרו עמנו קשר כדי למחוק אותה.