1. Oven voor enkelkristallen

Apparaatnaam: Enkelkristaloven

Functies van de apparatuur: het smelten van halfgeleidermaterialen, het trekken van enkelkristallen en het leveren van enkelkristalhalfgeleiderblanks voor de daaropvolgende productie van halfgeleidercomponenten.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: Duits PVA TePla AG, Japans Ferrotec, Amerikaans QUANTUM DESIGN, Duits Gero, Amerikaans KAYEX...

Binnenlands: Beijing Jingyuntong, Qixing Huachuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi'an University of Science and Technology Jinko, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi'an Huade, China Electronics Technology Group 48th Institute, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic, Shangyu Jingsheng, Jinjiang Netek, Ningxia Jingyang, Changzhou Jiangnan, Hefei Kejing Material Technology Co., Ltd., Shenyang Keyi-bedrijf...

2. Dampfase-epitaxieoven

Apparaatnaam: Dampfase-epitaxieoven

Functie van de apparatuur: Het creëren van een specifieke procesomgeving voor dampfase-epitaxie, het realiseren van de groei van dunne kristallagen op eenkristallen met een overeenkomstige kristalfase van het eenkristal, en het uitvoeren van basisvoorbereidingen voor de functionalisering van de afzetting op de bodem van het eenkristal. Dampfase-epitaxie is een speciaal proces van chemische dampafzetting. De kristalstructuur van de gegroeide dunne laag is een voortzetting van het eenkristalsubstraat en behoudt een overeenkomstige relatie met de kristaloriëntatie van het substraat.

Belangrijkste bedrijven (merken):

International: American CVD Equipment Company, American GT Company, French Soitec Company, French AS Company, American ProtoFlex Company, American Kurt J. Lesker Company, American Applied Materials Company...

Binnenlands: Het 48e Instituut van de China Electronics Technology Group, Qingdao Serida, Hefei Kejing Materials Technology Co., Ltd., Beijing Jinsheng Micro-Nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., Ltd........

3. Moleculaire bundelepitaxiesysteem (MBE, Moleculaire bundelepitaxiesysteem)

Apparaatnaam: Moleculaire bundelepitaxiesysteem

Functies van de apparatuur: Het moleculaire bundelepitaxiesysteem biedt procesapparatuur voor het laten groeien van dunne films onder specifieke omstandigheden op het oppervlak van het substraat; moleculaire bundelepitaxie is een technologie voor het vervaardigen van dunne films van enkelkristallijn materiaal. Hierbij worden dunne films laagje voor laagje gegroeid langs de kristalasrichting van het substraatmateriaal onder geschikte omstandigheden en op een geschikt substraat.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: Frans bedrijf Riber, Amerikaans bedrijf Veeco, Fins bedrijf DCA Instruments, Amerikaans bedrijf SVT Associates, Amerikaans bedrijf NBM, Duits bedrijf Omicron, Duits bedrijf MBE-Komponenten, Brits bedrijf Oxford Applied Research (OAR)...

Binnenlandse bedrijven: Shenyang Zhongke Instrument, Beijing Huidexin Technology Co., Ltd., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., Ltd., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., Ltd........

4. Oxidatieoven (VDF)

Apparaatnaam: Oxidatieoven

Functie van de apparatuur: het oxideren van halfgeleidermaterialen, het creëren van de benodigde oxidatieatmosfeer en het realiseren van het oxidatieproces van de halfgeleider zoals verwacht. Het is een onmisbare schakel in het halfgeleiderverwerkingsproces.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: Brits bedrijf Thermco, Duits bedrijf Centrothermthermal Solutions GmbH Co.KG...

Binnenlands: Beijing Qixing Huachuang, Qingdao Furunde, China Electronics Technology Group 48th Institute, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., Ltd., China Electronics Technology Group 45th Institute...

5. Lagedruk chemisch dampafzettingssysteem (LPCVD, Lagedruk chemisch dampafzettingssysteem)

Apparaatnaam: Lagedruk chemisch dampafzettingssysteem

Apparaatfunctie: De damp die het gasvormige of vloeibare reagens bevat waaruit de dunnefilmelementen en andere voor de reactie benodigde gassen bestaan, wordt in de reactiekamer van het LPCVD-apparaat gebracht. Hierdoor vindt een chemische reactie plaats op het substraatoppervlak, waardoor een dunne film ontstaat.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: Hitachi International Electric Co., Ltd., Japan…

Binnenlands: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument Factory, Shanghai Machinery Factory...

6. Plasma-ondersteund chemisch dampafzettingssysteem (PECVD, Plasma Enhanced CVD)

Apparaatnaam: Plasma-ondersteund chemisch dampafzettingssysteem

Apparaatfunctie: Gebruik een gloeiontlading in de afzettingskamer om het substraat te ioniseren en vervolgens een chemische reactie uit te voeren om dunne halfgeleiderfilms af te zetten.

Belangrijkste bedrijven (merken):

International: Proto Flex Company of the United States, Tokki Company of Japan, Shimadzu Company of Japan, Lam Research Company of the United States, ASM International Company of the Netherlands...

Binnenlands: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument Factory, Shanghai Machinery Factory...

7. Magnetron-sputterapparaat

Apparaatnaam: Magnetron sputterstage

Werking van het apparaat: Door middel van een gesloten magnetisch veld parallel aan het doeloppervlak tijdens diode-sputteren en het orthogonale elektromagnetische veld dat op het doeloppervlak wordt gevormd, worden de secundaire elektronen gebonden aan een specifiek gebied op het doeloppervlak om een ​​hoge ionendichtheid en ionisatie met hoge energie te bereiken. Hierdoor worden de doelatomen of -moleculen gesputterd en met een hoge snelheid op het substraat afgezet om een ​​dunne film te vormen.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: American PVD Company, American Vaportech Company, American AMAT Company, Dutch Hauzer Company, British Teer Company, Swiss Platit Company, Swiss Balzers Company, German Cemecon Company...

Binnenlandse bedrijven: Beijing Instrument Factory, Shenyang Zhongke Instrument, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute, Kerui Equipment Co., Ltd., Shanghai Machinery Factory...

8. Chemisch-mechanische polijstmachine (CMP, Chemisch-mechanische planarizatie)

Apparaatnaam: Chemisch-mechanische polijstmachine

Functie van de machine: Het slijpen en polijsten van het te slijpen object (halfgeleider) door de gecombineerde effecten van mechanisch slijpen en chemische vloeistofoplossing en "corrosie".

Belangrijkste bedrijven (merken):

International: American Applied Materials Company, American Novartis Systems Company, American Rtec Company...

Domestic: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Elite Microelectronics...

9. Lithografiemachine (Stappenmachine, Scanner)

Apparaatnaam: Lithografiemachine

Functie van het apparaat: Lijm aanbrengen op het oppervlak van het halfgeleidersubstraat (siliciumwafel), het patroon op het masker overbrengen op de fotogevoelige laag en de apparaat- of circuitstructuur tijdelijk "kopiëren" naar de siliciumwafel.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: ASML uit Nederland, Lam Semiconductor uit de Verenigde Staten, Nikon uit Japan, Canon uit Japan, ABM uit de Verenigde Staten, SUSS uit Duitsland, MYCRO uit de Verenigde Staten...

Binnenlands: Het 48e Instituut van de China Electronics Technology Group, het 45e Instituut van de China Electronics Technology Group, Shanghai Machinery Factory, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd........

10. Reactief ionenetsingssysteem (RIE, Reactive Ion Etch System)

Apparaatnaam: Reactief ionenetsingssysteem

Apparaatkenmerken: Tussen de vlakke elektroden wordt een hoogfrequente spanning aangelegd om een ​​ionenlaag van honderden micrometers dik te genereren. Wanneer het patroon wordt aangebracht, botsen de ionen met hoge snelheid op het patroon, waardoor chemische etsreacties en fysieke impact plaatsvinden. Dit resulteert in de verwerking en vormgeving van halfgeleiders.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: Japan Evatech Company, Amerikaans NANOmaster Company, Singapore REC Company, Zuid-Korea JuSung Company, Zuid-Korea TES Company...

Binnenlands: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute...

11. ICP-plasma-etssysteem (ICP, Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching System)

Apparaatnaam: ICP-plasma-etssysteem

Werking van het apparaat: Een of meer gasatomen of -moleculen worden in de reactiekamer gemengd en vormen een plasma onder invloed van externe energie (zoals radiofrequentie, microgolven, enz.). Enerzijds reageren de actieve groepen in het plasma chemisch met het te etsen oppervlaktemateriaal, waarbij vluchtige producten ontstaan; anderzijds worden de ionen in het plasma geleid en versneld onder invloed van een voorspanningsspanning, waardoor gerichte corrosie en versnelde corrosie van het te etsen oppervlak plaatsvindt.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: Oxford Instruments Company uit het Verenigd Koninkrijk, Torr Company uit de Verenigde Staten, Gatan Company uit de Verenigde Staten, Quorum Company uit het Verenigd Koninkrijk, Leman Company uit de Verenigde Staten, Pelco Company uit de Verenigde Staten...

Binnenlands: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute, Godel Plasma Technology (Hong Kong) Holdings Co., Ltd., Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Northern Microelectronics, Beijing Oriental Zhongke Integrated Technology Co., Ltd., Beijing Chuangshi Weiner Technology...

12. Ionenbundelimplantatie (IBI, Ionenbundelimplantatie)

Apparaatnaam: Ionenimplanteerder

Apparaatfunctie: Het doteren van het gebied nabij het halfgeleideroppervlak.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: American Varian Semiconductor Equipment Company, American CHA Company, American AMAT Company, Varian Semiconductor Manufacturing Equipment Company (overgenomen door AMAT)...

Binnenlandse bedrijven: Beijing Instrument Factory, China Electronics Technology Group 48th Institute, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., Ltd., Shanghai Silicon Tuo Microelectronics Co., Ltd........

13. Testbank voor probes (VPT, waferprobertest)

Apparaatnaam: Testbank met meetsonde

Functie van het apparaat: Het uitvoeren van elektrische tests door de meetsonde in contact te brengen met de contactvlakken van de halfgeleider om te detecteren of de prestatie-indicatoren van de halfgeleider voldoen aan de ontwerpeisen.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: het Duitse bedrijf Ingun, het Amerikaanse bedrijf QA, het Amerikaanse bedrijf MicroXact, het Koreaanse bedrijf Ecopia, het Koreaanse bedrijf Leeno...

Binnenlands: Het 45e Instituut van de China Electronics Technology Group, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Rico Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmeixier Technology...

14. Wafer-dunmachine (achterzijde slijpen)

Apparaatnaam: Wafer-dunmachine

Functie van het apparaat: het verminderen van de dikte van de wafer door middel van polijsten.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: Japans DISCO, Duits G&N, Japans OKAMOTO, Israëlisch Camtek...

Binnenlandse bedrijven: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Shenzhen Fangda Grinding Equipment Manufacturing Co., Ltd., Shenzhen Jinlili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., Ltd., Weianda Grinding Equipment Co., Ltd., Shenzhen Huanianfeng Technology Co., Ltd........

15. Wafer-dicingmachine (DS, Die Sawwing)

Apparaatnaam: Wafer-snijmachine

Functie van de machine: Het snijden van de wafer met een stansmachine in kleine stukjes.

Belangrijkste bedrijven (merken):

Internationaal: Duits bedrijf OEG, Japans bedrijf DISCO...

Binnenlands: Het 45e Instituut van de China Electronics Technology Group, Beijing Kechuangyuan Optoelectronics Technology Co., Ltd., Shenyang Instrumentation Technology Research Institute, Northwest Machinery Co., Ltd. (voorheen staatsbedrijf Northwest Machinery Factory 709), Huisheng Electronic and Electronic Machinery Equipment Co., Ltd., Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Han's Laser, Shenzhen Ruby Laser Equipment Co., Ltd., Wuhan Sangong, Zhuhai Lailian Optoelectronics, Zhuhai Yuemao Technology...

16. Draadverbinder

Apparaatnaam: Draadverbindingsmachine

Apparaatfunctie: Verbind de pad op de halfgeleiderchip met de pad op de pin met geleidende metalen draden (gouddraad).

Belangrijkste bedrijven (merken):

International: American Aotei Company, German TPT Company, Austrian FK Company, Malaysian Unisem Company...

Domestic: The 45th Institute of China Electronics Technology Group, Beijing Chuangshijie Technology Development Co., Ltd., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., Ltd. (Malaysian Unison Investment), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., Ltd....

Disclaimer: Dit artikel is overgenomen van "New Materials Online", een platform dat de bescherming van intellectuele eigendomsrechten ondersteunt. Vermeld de oorspronkelijke bron en auteur bij herpublicatie. Neem bij inbreuk op uw rechten contact met ons op zodat we het artikel kunnen verwijderen.