۱. کوره تک کریستالی

نام دستگاه: کوره تک کریستال

عملکرد تجهیزات: ذوب مواد نیمه‌هادی، کشیدن تک بلورها و فراهم کردن نمونه‌های نیمه‌هادی تک بلور برای تولید بعدی قطعات نیمه‌هادی.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: PVA TePla AG آلمان، Ferrotec ژاپن، QUANTUM DESIGN آمریکا، Gero آلمان، KAYEX آمریکا...

داخلی: پکن Jingyuntong، Qixing Huachuang، Beijing Jingyi Century، Hebei Jinglong Sunshine، Xi'an University of Science and Technology Jinko، Changzhou Huasheng Tianlong، Shanghai Hanhong، Xi'an Huade، China Electronics Technology Group 48th Institute of Shanghe thermalangy, Jinnhe thermalangiings Netek، Ningxia Jingyang، Changzhou Jiangnan، Hefei Kejing Material Technology Co.، Ltd.، Shenyang Keyi Company...

۲. کوره اپیتاکسی فاز بخار

نام دستگاه: کوره اپیتاکسی فاز بخار

عملکرد دستگاه: فراهم کردن یک محیط فرآیندی خاص برای رشد اپیتاکسی فاز بخار، تحقق رشد کریستال‌های لایه نازک روی تک کریستال‌هایی که رابطه متناظری با فاز کریستالی تک کریستال دارند، و انجام مقدمات اولیه برای عامل‌دار کردن رسوب ته تک کریستال. اپیتاکسی فاز بخار یک فرآیند ویژه رسوب شیمیایی بخار است. ساختار کریستالی لایه نازک رشد یافته، ادامه بستر تک کریستالی است و رابطه متناظری با جهت‌گیری کریستالی بستر حفظ می‌کند.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت تجهیزات CVD آمریکایی، شرکت GT آمریکایی، شرکت Soitec فرانسوی، شرکت AS فرانسوی، شرکت ProtoFlex آمریکایی، شرکت Kurt J. Lesker آمریکایی، شرکت Applied Materials آمریکایی...

داخلی: چهل و هشتمین موسسه گروه فناوری الکترونیک چین، چینگدائو سریدا، شرکت فناوری مواد هفی کجینگ، پکن جینشنگ میکرو-نانو، شرکت فناوری الکترونیک جینان لیگوان.......

۳. سیستم اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE، سیستم اپیتاکسی پرتو مولکولی)

نام دستگاه: سیستم اپیتاکسی پرتو مولکولی

عملکرد تجهیزات: سیستم اپیتاکسی پرتو مولکولی، تجهیزات فرآیندی را برای رشد لایه‌های نازک مطابق با شرایط خاص روی سطح زیرلایه فراهم می‌کند؛ اپیتاکسی پرتو مولکولی فناوری‌ای برای تهیه لایه‌های نازک تک کریستالی است. این سیستم، لایه‌های نازک را لایه به لایه در امتداد محور کریستالی ماده زیرلایه، تحت زیرلایه‌های مناسب و شرایط مناسب رشد می‌دهد.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت فرانسوی Riber، شرکت آمریکایی Veeco، شرکت فنلاندی DCA Instruments، شرکت آمریکایی SVT Associates، شرکت آمریکایی NBM، شرکت آلمانی Omicron، شرکت آلمانی MBE-Komponenten، شرکت بریتانیایی Oxford Applied Research (OAR)...

داخلی: شرکت ابزار دقیق شنیانگ ژونگکه، شرکت فناوری پکن هویدکسین، شرکت تجهیزات ابزار دقیق شائوشینگ کوانگتای، شرکت فناوری خلاء شنیانگ کیو.......

۴. کوره اکسیداسیون (VDF)

نام دستگاه: کوره اکسیداسیون

عملکرد تجهیزات: اکسید کردن مواد نیمه‌هادی، فراهم کردن اتمسفر اکسیداسیون مورد نیاز و تحقق فرآیند اکسیداسیون نیمه‌هادی مطابق انتظار. این یک حلقه ضروری در فرآیند پردازش نیمه‌هادی است.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت بریتانیایی Thermco، شرکت آلمانی Centrothermthermal Solutions GmbH Co.KG...

داخلی: پکن چیشینگ هواچوانگ، چینگدائو فوروند، موسسه چهل و هشتم گروه فناوری الکترونیک چین، شرکت تجهیزات ابزار دقیق چینگدائو شوگوانگ، موسسه چهل و پنجم گروه فناوری الکترونیک چین...

۵. سیستم رسوب بخار شیمیایی فشار پایین (LPCVD، سیستم رسوب بخار شیمیایی فشار پایین)

نام دستگاه: سیستم رسوب بخار شیمیایی کم فشار

عملکرد دستگاه: بخار حاوی معرف گازی یا معرف مایع که عناصر لایه نازک و سایر گازهای مورد نیاز برای واکنش را تشکیل می‌دهد، به محفظه واکنش دستگاه LPCVD وارد می‌شود و یک واکنش شیمیایی روی سطح زیرلایه رخ می‌دهد تا یک لایه نازک تولید شود.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت بین‌المللی برق هیتاچی، ژاپن…

داخلی: شرکت فناوری نیمه‌هادی شانگهای چی‌جیان، موسسه چهل و هشتم گروه فناوری الکترونیک چین، موسسه چهل و پنجم گروه فناوری الکترونیک چین، کارخانه ابزار دقیق پکن، کارخانه ماشین‌آلات شانگهای...

۶. سیستم رسوب‌گذاری شیمیایی بخار با پلاسما (PECVD، Plasma Enhanced CVD)

نام دستگاه: سیستم رسوب بخار شیمیایی با پلاسما

عملکرد دستگاه: استفاده از تخلیه تابشی در محفظه رسوب‌گذاری برای یونیزه کردن آن و سپس انجام یک واکنش شیمیایی روی زیرلایه برای رسوب مواد لایه نازک نیمه‌هادی.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین المللی: شرکت پروتو فلکس آمریکا، شرکت توکی ژاپن، شرکت شیمادزو ژاپن، شرکت لام ریسرچ آمریکا، شرکت بین المللی ASM هلند...

داخلی: موسسه ۴۵ام گروه فناوری الکترونیک چین، کارخانه ابزار دقیق پکن، کارخانه ماشین آلات شانگهای...

7. دستگاه مگنترون اسپاترینگ

نام دستگاه: صفحه کندوپاش مگنترون

عملکرد دستگاه: از طریق یک میدان مغناطیسی بسته موازی با سطح هدف در طول کندوپاش دیودی و میدان الکترومغناطیسی متعامد تشکیل شده روی سطح هدف، الکترون‌های ثانویه به یک ناحیه خاص روی سطح هدف متصل می‌شوند تا به چگالی یون بالا و یونیزاسیون انرژی بالا دست یابند و اتم‌ها یا مولکول‌های هدف با سرعت بالا کندوپاش شده و روی زیرلایه رسوب می‌کنند تا یک فیلم نازک تشکیل دهند.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت PVD آمریکا، شرکت Vaportech آمریکا، شرکت AMAT آمریکا، شرکت Hauzer هلند، شرکت Teer بریتانیا، شرکت Platit سوئیس، شرکت Balzers سوئیس، شرکت Cemecon آلمان...

داخلی: کارخانه ابزار دقیق پکن، شرکت ابزار دقیق شنیانگ ژونگکه، شرکت صنعتی چنگدو نانگوانگ، موسسه چهل و هشتم گروه فناوری الکترونیک چین، شرکت تجهیزات کروی، کارخانه ماشین آلات شانگهای...

۸. دستگاه پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP، مسطح‌سازی مکانیکی شیمیایی)

نام دستگاه: دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی

عملکرد دستگاه: سنگ‌زنی و صیقل دادن جسم مورد نظر برای سنگ‌زنی (نیمه‌رسانا) از طریق اثرات ترکیبی سنگ‌زنی مکانیکی و انحلال و "خوردگی" مایع شیمیایی.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آمریکایی Applied Materials، شرکت آمریکایی Novartis Systems، شرکت آمریکایی Rtec...

داخلی: شرکت صنایع پیشرفته لانژو لانشین، شرکت میکروالکترونیک الیت...

۹. دستگاه لیتوگرافی (استپر، اسکنر)

نام دستگاه: دستگاه لیتوگرافی

عملکرد دستگاه: چسب را روی سطح زیرلایه نیمه‌هادی (ویفر سیلیکونی) بمالید، الگوی روی ماسک را به فوتورزیست منتقل کنید و ساختار دستگاه یا مدار را به طور موقت روی ویفر سیلیکونی "کپی" کنید.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین المللی: شرکت ASML هلند، شرکت Lam Semiconductor آمریکا، شرکت Nikon ژاپن، شرکت Canon ژاپن، شرکت ABM آمریکا، شرکت SUSS آلمان، شرکت MYCRO آمریکا...

داخلی: چهل و هشتمین موسسه گروه فناوری الکترونیک چین، چهل و پنجمین موسسه گروه فناوری الکترونیک چین، کارخانه ماشین آلات شانگهای، شرکت صنعتی چنگدو نانگوانگ .......

۱۰. سیستم اچینگ یون واکنشی (RIE، سیستم اچینگ یون واکنشی)

نام دستگاه: سیستم حکاکی یون واکنشی

ویژگی‌های دستگاه:. یک ولتاژ فرکانس بالا بین الکترودهای مسطح اعمال می‌شود تا یک لایه یونی به ضخامت صدها میکرون ایجاد شود. هنگامی که الگو قرار می‌گیرد، یون‌ها با سرعت بالا به الگو برخورد می‌کنند تا حکاکی شیمیایی و تأثیر فیزیکی حاصل شود و در نتیجه پردازش و شکل‌دهی نیمه‌هادی انجام شود.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت Evatech ژاپن، شرکت NANOmaster آمریکا، شرکت REC سنگاپور، شرکت JuSung کره جنوبی، شرکت TES کره جنوبی...

داخلی: کارخانه ابزار دقیق پکن، شرکت الکترونیک چی شینگ هواچوانگ پکن، شرکت صنعتی چنگدو نانگوانگ، گروه فناوری الکترونیک چین، موسسه چهل و هشتم...

۱۱. سیستم حکاکی پلاسمای ICP (ICP، سیستم حکاکی یون واکنشی پلاسمای جفت شده القایی)

نام دستگاه: سیستم حکاکی پلاسمای ICP

عملکرد دستگاه: یک یا چند اتم یا مولکول گاز در محفظه واکنش مخلوط شده و تحت تأثیر انرژی خارجی (مانند فرکانس رادیویی، مایکروویو و غیره) پلاسما تشکیل می‌دهند. از یک طرف، گروه‌های فعال در پلاسما با ماده سطحی که قرار است حکاکی شود، واکنش شیمیایی می‌دهند تا محصولات فرار تولید کنند. از طرف دیگر، یون‌های موجود در پلاسما تحت تأثیر ولتاژ بایاس هدایت و شتاب داده می‌شوند و خوردگی جهت‌دار و خوردگی تسریع‌شده سطح مورد نظر برای حکاکی را به دست می‌آورند.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آکسفورد اینسترومنتس بریتانیا، شرکت تور ایالات متحده، شرکت گاتان ایالات متحده، شرکت کوروم بریتانیا، شرکت لمان ایالات متحده، شرکت پلکو ایالات متحده...

داخلی: کارخانه ابزار دقیق پکن، شرکت الکترونیک چی شینگ هواچوانگ پکن، موسسه چهل و هشتم گروه فناوری الکترونیک چین، شرکت هولدینگ فناوری پلاسما گودل (هنگ کنگ)، موسسه میکروالکترونیک، آکادمی علوم چین، میکروالکترونیک شمالی، شرکت فناوری یکپارچه ژونگکه شرقی پکن، شرکت فناوری چوانگشی واینر پکن...

۱۲. کاشت پرتو یونی (IBI، کاشت پرتو یونی)

نام دستگاه: دستگاه کاشت یون

عملکرد دستگاه: آلایش ناحیه نزدیک سطح نیمه‌رسانا

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت تجهیزات نیمه‌هادی واریان آمریکا، شرکت CHA آمریکا، شرکت AMAT آمریکا، شرکت تجهیزات تولیدی نیمه‌هادی واریان (خریداری شده توسط AMAT)...

داخلی: کارخانه ابزار دقیق پکن، گروه فناوری الکترونیک چین، موسسه ۴۸، شرکت صنعتی چنگدو نانگوانگ، شرکت ماشین آلات صنایع سبک شنیانگ فانگجی، شرکت میکروالکترونیک سیلیکون توئو شانگهای.......

۱۳. میز تست پروب (VPT، تست پروب ویفر)

نام دستگاه: میز تست پروب

عملکرد دستگاه: با تماس پروب با پد دستگاه نیمه هادی، آزمایش الکتریکی انجام دهید تا مشخص شود که آیا شاخص‌های عملکرد نیمه هادی، الزامات عملکرد طراحی را برآورده می‌کنند یا خیر.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آلمانی اینگون، شرکت آمریکایی تضمین کیفیت، شرکت آمریکایی میکروکسکت، شرکت کره‌ای اکوپیا، شرکت کره‌ای لینو...

داخلی: چهل و پنجمین موسسه فناوری الکترونیک چین، شرکت الکترونیک پکن چی شینگ هواچوانگ، ریکو اینسترومنتس، گروه هوارونگ، فناوری شنژن سنمیشیِر...

۱۴. دستگاه نازک کردن ویفر (سنگ‌زنی از پشت)

نام دستگاه: دستگاه نازک کننده ویفر

عملکرد دستگاه: کاهش ضخامت ویفر از طریق پولیش.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت ژاپنی DISCO، شرکت آلمانی G&N، شرکت ژاپنی OKAMOTO، شرکت اسرائیلی Camtek...

داخلی: شرکت صنایع پیشرفته لانژو لانشین، شرکت تولیدی تجهیزات سنگ‌زنی شنژن فانگدا، شرکت تولیدی ماشین‌آلات سنگ‌زنی دقیق شنژن جین‌لیلی، شرکت تجهیزات سنگ‌زنی ویاندا، شرکت فناوری شنژن هوانیانفنگ.......

۱۵. دستگاه برش ویفر (DS، Die Sawwing)

نام دستگاه: دستگاه ویفر خردکن

عملکرد دستگاه: برش ویفر به قطعات کوچک با قالب.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت OEG آلمان، شرکت DISCO ژاپن...

داخلی: چهل و پنجمین موسسه گروه فناوری الکترونیک چین، شرکت فناوری اپتوالکترونیک پکن کچوانگ‌یوان، موسسه تحقیقات فناوری ابزار دقیق شن‌یانگ، شرکت ماشین‌آلات شمال غربی (که قبلاً کارخانه دولتی ماشین‌آلات شمال غربی ۷۰۹ بود)، شرکت تجهیزات الکترونیکی و ماشین‌آلات الکترونیکی هوئی‌شنگ، شرکت صنایع پیشرفته لانژو لان‌شین، لیزر هانز، شرکت تجهیزات لیزری روبی شنژن، ووهان سانگونگ، اپتوالکترونیک ژوهای لیلیان، فناوری ژوهای یوئمائو...

۱۶. اتصال دهنده سیم

نام دستگاه: دستگاه اتصال سیم

عملکرد دستگاه: پد روی تراشه نیمه‌هادی و پد روی پین را با سیم‌های فلزی رسانا (سیم طلایی) وصل کنید.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آمریکایی Aotei، شرکت آلمانی TPT، شرکت اتریشی FK، شرکت مالزیایی Unisem...

داخلی: گروه فناوری الکترونیک موسسه چهل و پنجم چین، شرکت توسعه فناوری چوانگشیجی پکن، شرکت بسته‌بندی و آزمایش مدار مجتمع یوکسین (چنگدو) (سرمایه‌گذاری یونیسون مالزی)، شرکت تجهیزات اتوماسیون شنژن کایجیو...

سلب مسئولیت: این مقاله از "New Materials Online" که از حقوق مالکیت معنوی حمایت می‌کند، کپی شده است. لطفاً منبع اصلی و نویسنده‌ی بازنشر را ذکر کنید. در صورت وجود هرگونه نقض، لطفاً برای حذف آن با ما تماس بگیرید.