1. Relau kristal tunggal

Nama peralatan: Relau kristal tunggal

Fungsi peralatan: mencairkan bahan semikonduktor, menarik hablur tunggal dan menyediakan bahan kosong semikonduktor hablur tunggal untuk pembuatan peranti semikonduktor seterusnya.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: PVA TePla AG Jerman, Ferrotec Jepun, REKA BENTUK QUANTUM Amerika, Gero Jerman, KAYEX Amerika...

Domestik: Beijing Jingyuntong, Qixing Huachuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi'an University of Science and Technology Jinko, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi'an Huade, China Electronics Technology Group 48th Institute, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic, Shangyu Jingnanheng, Changzhou Jingsheng, Changzhou Jingsheng, Jinjiang Kejing Material Technology Co., Ltd., Syarikat Shenyang Keyi...

2. Relau epitaksi fasa wap

Nama peralatan: Relau epitaksi fasa wap

Fungsi peralatan: Menyediakan persekitaran proses khusus untuk pertumbuhan epitaksi fasa wap, merealisasikan pertumbuhan kristal lapisan nipis pada kristal tunggal yang mempunyai hubungan yang sepadan dengan fasa kristal kristal tunggal, dan membuat persediaan asas untuk pemfungsian pemendapan dasar kristal tunggal. Epitaksi fasa wap ialah proses khas pemendapan wap kimia. Struktur kristal lapisan nipis yang ditumbuhkan adalah kesinambungan substrat kristal tunggal dan mengekalkan hubungan yang sepadan dengan orientasi kristal substrat.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Peralatan CVD Amerika, Syarikat GT Amerika, Syarikat Soitec Perancis, Syarikat AS Perancis, Syarikat ProtoFlex Amerika, Syarikat Kurt J. Lesker Amerika, Syarikat Bahan Gunaan Amerika...

Domestik: Kumpulan Teknologi Elektronik Institut China ke-48, Qingdao Serida, Hefei Kejing Materials Technology Co., Ltd., Beijing Jinsheng Micro-Nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., Ltd.......

3. Sistem Epitaksi Pancaran Molekul (MBE, Sistem Epitaksi Pancaran Molekul)

Nama peralatan: Sistem epitaksi pancaran molekul

Fungsi peralatan: Sistem epitaksi pancaran molekul menyediakan peralatan proses untuk menumbuhkan filem nipis mengikut keadaan tertentu pada permukaan substrat; epitaksi pancaran molekul ialah teknologi untuk menyediakan filem nipis kristal tunggal. Ia menumbuhkan filem nipis lapisan demi lapisan di sepanjang arah paksi kristal bahan substrat di bawah substrat yang sesuai dan keadaan yang sesuai.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Riber Perancis, Syarikat Veeco Amerika, Syarikat Instrumen DCA Finland, Syarikat Rakan Sekutu SVT Amerika, Syarikat NBM Amerika, Syarikat Omicron Jerman, Syarikat MBE-Komponenten Jerman, Syarikat Penyelidikan Gunaan Oxford (OAR) British...

Domestik: Shenyang Zhongke Instrument, Beijing Huidexin Technology Co., Ltd., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., Ltd., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., Ltd.......

4. Relau pengoksidaan (VDF)

Nama peralatan: Relau pengoksidaan

Fungsi peralatan: mengoksidakan bahan semikonduktor, menyediakan atmosfera pengoksidaan yang diperlukan, dan merealisasikan proses pengoksidaan semikonduktor seperti yang dijangkakan. Ia merupakan penghubung yang sangat penting dalam proses pemprosesan semikonduktor.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Thermco British, Syarikat Centrothermthermal Solutions GmbH Co.KG Jerman...

Domestik: Beijing Qixing Huachuang, Qingdao Furunde, China Electronics Technology Group Institut ke-48, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., Ltd., China Electronics Technology Group Institut ke-45...

5. Sistem Pemendapan Wap Kimia Tekanan Rendah (LPCVD, Sistem Pemendapan Wap Kimia Tekanan Rendah)

Nama peralatan: Sistem pemendapan wap kimia tekanan rendah

Fungsi peralatan: Masukkan wap yang mengandungi reagen gas atau reagen cecair yang membentuk elemen filem nipis dan gas lain yang diperlukan untuk tindak balas ke dalam ruang tindak balas peralatan LPCVD, dan tindak balas kimia berlaku pada permukaan substrat untuk menghasilkan filem nipis.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Hitachi International Electric Co., Ltd., Jepun…

Domestik: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., Ltd., China Electronics Technology Group Institut ke-48, China Electronics Technology Group Institut ke-45, Kilang Instrumen Beijing, Kilang Jentera Shanghai...

6. Sistem pemendapan wap kimia yang dipertingkatkan plasma (PECVD, CVD yang Dipertingkatkan Plasma)

Nama peralatan: Sistem pemendapan wap kimia yang dipertingkatkan plasma

Fungsi peralatan: Gunakan nyahcas cahaya dalam ruang pemendapan untuk mengionkannya dan kemudian lakukan tindak balas kimia pada substrat untuk memendapkan bahan filem nipis semikonduktor.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Proto Flex Amerika Syarikat, Syarikat Tokki Jepun, Syarikat Shimadzu Jepun, Syarikat Penyelidikan Lam Amerika Syarikat, Syarikat Antarabangsa ASM Belanda...

Domestik: Institut ke-45 Kumpulan Teknologi Elektronik China, Kilang Instrumen Beijing, Kilang Jentera Shanghai...

7. Peralatan MagnetronSputter

Nama peralatan: Peringkat percikan Magnetron

Fungsi peralatan: Melalui medan magnet tertutup selari dengan permukaan sasaran semasa diod sputtering dan medan elektromagnet ortogonal yang terbentuk pada permukaan sasaran, elektron sekunder terikat pada kawasan tertentu pada permukaan sasaran untuk mencapai ketumpatan ion yang tinggi dan pengionan tenaga yang tinggi, dan atom atau molekul sasaran sputtering dan dimendapkan pada substrat pada kadar yang tinggi untuk membentuk filem nipis.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat PVD Amerika, Syarikat Vaportech Amerika, Syarikat AMAT Amerika, Syarikat Hauzer Belanda, Syarikat Teer British, Syarikat Platit Switzerland, Syarikat Balzers Switzerland, Syarikat Cemecon Jerman...

Domestik: Kilang Instrumen Beijing, Instrumen Shenyang Zhongke, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., China Electronics Technology Group Institut ke-48, Kerui Equipment Co., Ltd., Kilang Jentera Shanghai...

8. Mesin Penggilap Mekanikal Kimia (CMP, Perancangan Mekanikal Kimia)

Nama peralatan: Mesin penggilap mekanikal kimia

Fungsi peralatan: Mengisar dan menggilap objek yang hendak digiling (semikonduktor) melalui kesan gabungan pengisaran mekanikal dan pelarutan cecair kimia dan "karat".

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Bahan Gunaan Amerika, Syarikat Sistem Novartis Amerika, Syarikat Rtec Amerika...

Domestik: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Elite Microelectronics...

9. Mesin Litografi (Stepper, Pengimbas)

Nama peralatan: Mesin litografi

Fungsi peralatan: Sapukan gam pada permukaan substrat semikonduktor (wafer silikon), pindahkan corak pada topeng ke fotoresis, dan "salin" sementara struktur peranti atau litar ke wafer silikon.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat ASML Belanda, Syarikat Semikonduktor Lam Amerika Syarikat, Syarikat Nikon Jepun, Syarikat Canon Jepun, Syarikat ABM Amerika Syarikat, Syarikat SUSS Jerman, Syarikat MYCRO Amerika Syarikat...

Domestik: Kumpulan Teknologi Elektronik Institut China ke-48, Kumpulan Teknologi Elektronik Institut China ke-45, Kilang Jentera Shanghai, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd.......

10. Sistem ukiran ion reaktif (RIE, Sistem Ukiran Ion Reaktif)

Nama peralatan: Sistem etsa ion reaktif

Ciri-ciri peranti:. Voltan frekuensi tinggi dikenakan di antara elektrod rata untuk menghasilkan lapisan ion setebal ratusan mikron. Apabila corak diletakkan, ion-ion tersebut mengenai corak pada kelajuan tinggi untuk mencapai pengukiran tindak balas kimia dan hentaman fizikal, sekali gus mencapai pemprosesan dan pembentukan semikonduktor.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Evatech Jepun, Syarikat NANOmaster Amerika, Syarikat REC Singapura, Syarikat JuSung Korea Selatan, Syarikat TES Korea Selatan...

Domestik: Kilang Instrumen Beijing, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., China Electronics Technology Group Institut ke-48...

11. Sistem ukiran plasma ICP (ICP, Sistem Ukiran Ion Reaktif Plasma Gandingan Induktif)

Nama peralatan: Sistem etsa plasma ICP

Fungsi peralatan: Satu atau lebih atom atau molekul gas dicampurkan dalam ruang tindak balas dan membentuk plasma di bawah tindakan tenaga luaran (seperti frekuensi radio, gelombang mikro, dll.). Di satu pihak, kumpulan aktif dalam plasma bertindak balas secara kimia dengan bahan permukaan yang hendak diukir untuk menghasilkan produk yang meruap; sebaliknya, ion dalam plasma dipandu dan dipercepatkan di bawah tindakan voltan bias, mencapai kakisan berarah dan kakisan dipercepatkan pada permukaan yang hendak diukir.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Oxford Instruments dari United Kingdom, Syarikat Torr dari Amerika Syarikat, Syarikat Gatan dari Amerika Syarikat, Syarikat Quorum dari United Kingdom, Syarikat Leman dari Amerika Syarikat, Syarikat Pelco dari Amerika Syarikat...

Domestik: Kilang Instrumen Beijing, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronics Technology Group Institut ke-48, Godel Plasma Technology (Hong Kong) Holdings Co., Ltd., Institut Mikroelektronik, Akademi Sains China, Mikroelektronik Utara, Beijing Oriental Zhongke Integrated Technology Co., Ltd., Beijing Chuangshi Weiner Technology...

12. Implan Pancaran Ion (IBI, Implan Pancaran Ion)

Nama peralatan: Implan ion

Fungsi peranti: Mendop kawasan berhampiran permukaan semikonduktor

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Peralatan Semikonduktor Varian Amerika, Syarikat CHA Amerika, Syarikat AMAT Amerika, Syarikat Peralatan Pembuatan Semikonduktor Varian (diambil alih oleh AMAT)...

Domestik: Kilang Instrumen Beijing, Institut ke-48 Kumpulan Teknologi Elektronik China, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., Ltd., Shanghai Silicon Tuo Microelectronics Co., Ltd.......

13. Bangku ujian prob (VPT, Ujian prob Wafer)

Nama peralatan: Bangku ujian prob

Fungsi peralatan: Menjalankan ujian elektrik dengan menghubungi prob dengan pad peranti semikonduktor untuk mengesan sama ada penunjuk prestasi semikonduktor memenuhi keperluan prestasi reka bentuk.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Ingun Jerman, Syarikat QA Amerika, Syarikat MicroXact Amerika, Syarikat Ecopia Korea, Syarikat Leeno Korea...

Domestik: Kumpulan Teknologi Elektronik Institut China ke-45, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Rico Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmeixier Technology...

14. Mesin penipisan wafer (Pengisaran Bahagian Belakang)

Nama peralatan: Mesin penipisan wafer

Fungsi peralatan: mengurangkan ketebalan wafer melalui penggilapan.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat DISCO Jepun, Syarikat G&N Jerman, Syarikat OKAMOTO Jepun, Syarikat Camtek Israel...

Domestik: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Shenzhen Fangda Grinding Equipment Manufacturing Co., Ltd., Shenzhen Jinlili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., Ltd., Weianda Grinding Equipment Co., Ltd., Shenzhen Huanianfeng Technology Co., Ltd.......

15. Mesin pemotong dadu wafer (DS, Die Sawwing)

Nama peralatan: Mesin dadu wafer

Fungsi peralatan: Memotong wafer menjadi kepingan kecil.

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat OEG Jerman, syarikat DISCO Jepun...

Domestik: Institut Teknologi Elektronik China ke-45, Beijing Kechuangyuan Optoelektronik Technology Co., Ltd., Institut Penyelidikan Teknologi Instrumentasi Shenyang, Northwest Machinery Co., Ltd. (dahulunya Kilang Jentera Northwest milik negara 709), Huisheng Electronic and Electronic Machinery Equipment Co., Ltd., Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Han's Laser, Shenzhen Ruby Laser Equipment Co., Ltd., Wuhan Sangong, Zhuhai Lailian Optoelektronik, Zhuhai Yuemao Technology...

16. Pengikat Wayar

Nama peralatan: Mesin pengikat dawai

Fungsi peralatan: Sambungkan Pad pada cip semikonduktor dan Pad pada pin dengan wayar logam konduktif (wayar emas).

Syarikat utama (jenama):

Antarabangsa: Syarikat Aotei Amerika, Syarikat TPT Jerman, Syarikat FK Austria, Syarikat Unisem Malaysia...

Domestik: Kumpulan Teknologi Elektronik Institut China ke-45, Beijing Chuangshijie Technology Development Co., Ltd., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., Ltd. (Pelaburan Unison Malaysia), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., Ltd....

Penafian: Artikel ini diterbitkan semula daripada "Bahan Baharu Dalam Talian", yang menyokong perlindungan hak harta intelek. Sila nyatakan sumber asal dan pengarang cetakan semula. Jika terdapat sebarang pelanggaran, sila hubungi kami untuk memadamkannya.