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Basato sull'estensione del piano XY Tecnologia di confezionamento avanzata
Il piano XY qui si riferisce al wafer o al piano XY del chip. La caratteristica distintiva di questo tipo di package è l'assenza di un foro passante TSV (Through-Silicon Via). Il mezzo o la tecnologia di estensione del segnale è implementata principalmente attraverso lo strato RDL (Reverse Layer Deployment). Solitamente non è presente un substrato. Il cablaggio RDL è fissato al corpo in silicio del chip o su uno stampo aggiuntivo. Poiché il prodotto finale confezionato non ha un substrato, tali package sono relativamente sottili e sono attualmente ampiamente utilizzati negli smartphone.
1.FOWLP
Prima dell'avvento della tecnologia WLP, le fasi tradizionali del processo di confezionamento venivano eseguite principalmente dopo il taglio e la sezionatura del wafer. Il wafer veniva prima tagliato e sezionato, e poi confezionato in varie forme.
Il WLP (Wafer Level Packaging) è stato introdotto intorno al 2000. Esistono due tipologie: Fan-in e Fan-out. Il packaging a livello di wafer WLP si differenzia dal packaging tradizionale. Nel processo di packaging, la maggior parte delle operazioni consiste nella lavorazione del wafer, ovvero il packaging completo viene eseguito sul wafer stesso, che viene poi tagliato in fette. Poiché il taglio avviene dopo il packaging, le dimensioni del chip confezionato sono pressoché identiche a quelle del chip nudo, motivo per cui viene anche chiamato CSP (Chip Scale Package) o WLCSP (Wafer Level Chip Scale Packaging). Questo tipo di packaging si conforma alla tendenza del mercato verso prodotti elettronici di consumo leggeri, piccoli, compatti e sottili. La capacità e l'induttanza parassite sono relativamente basse, con conseguenti vantaggi in termini di costi contenuti e buona dissipazione del calore.Inizialmente, WLP adottava principalmente il tipo Fan-in, che può essere chiamato Fan-in WLP o FIWLP. Viene utilizzato soprattutto in chip con area ridotta e un numero inferiore di pin.
Con il miglioramento della tecnologia dei circuiti integrati, l'area del chip si riduce e non è più possibile ospitare un numero sufficiente di pin. Pertanto, è stato sviluppato il formato di packaging Fan-Out WLP, noto anche come FOWLP, che sfrutta appieno lo spazio RDL per le connessioni esterne all'area del chip, consentendo così di ottenere un maggior numero di pin.
Nel processo FOWLP, poiché RDL e Bump devono essere portati alla periferia del chip nudo, il wafer del chip nudo deve essere prima tagliato e segmentato, e quindi i chip nudi indipendenti vengono riconfigurati nel processo del wafer. Sulla base di ciò, attraverso l'elaborazione in batch e l'interconnessione con cablaggio metallizzato, viene formato il package finale. Il processo di incapsulamento FOWLP è mostrato nella figura seguente.
FOWLP è supportato da molte aziende, e ciascuna azienda utilizza metodi di denominazione differenti. La figura seguente mostra le implementazioni di FOWLP fornite dalle principali aziende.
Sia che si utilizzi la configurazione Fan-in che Fan-out, la connessione tra il packaging a livello di wafer (WLP) e il PCB avviene tramite un chip flip-chip. Il lato attivo del chip è rivolto verso il basso, in direzione del circuito stampato, il che consente di ottenere il percorso elettrico più breve, garantendo maggiore velocità e minori effetti parassiti. Inoltre, grazie all'utilizzo del packaging batch, l'intero wafer può essere confezionato in un'unica soluzione, e la riduzione dei costi rappresenta un ulteriore vantaggio per il packaging a livello di wafer. 2.INFOInFO (Integrated Fan-out) è una tecnologia di packaging FOWLP avanzata sviluppata da TSMC nel 2017. Si tratta di un'integrazione del processo FOWLP e può essere intesa come l'integrazione di più processi Fan-Out per chip, mentre FOWLP si concentra sul processo di packaging Fan-Out in sé. InFO offre spazio per l'integrazione di più chip e può essere applicato al packaging di chip a radiofrequenza e wireless, processori e chip di banda base, processori grafici e chip di rete. La figura seguente mostra un diagramma comparativo tra FIWLP, FOWLP e InFO.
Nei primi anni, i processori per iPhone di Apple sono stati prodotti da Samsung, ma TSMC ha ricevuto ordini per due generazioni di processori per iPhone, a partire dall'Apple A11. Uno dei fattori chiave è la nuova tecnologia di packaging InFO di TSMC, che consente l'interconnessione diretta dei chip, riducendo lo spessore e liberando spazio prezioso per batterie o altri componenti.
Apple ha iniziato a utilizzare il packaging InFO con l'iPhone 7 e continuerà a farlo. Anche iPhone 8, iPhone X e altri marchi di telefoni cellulari in futuro adotteranno questa tecnologia. L'unione tra Apple e TSMC ha cambiato lo scenario applicativo della tecnologia FOWLP e consentirà al mercato di accettarla gradualmente e di applicarla su larga scala. 3.FOPLPIl packaging a livello di pannello FOPLP (Fan-out Panel Level Package) si basa sulle idee e sulla tecnologia del FOWLP, ma utilizza un pannello più grande, consentendo così la produzione in serie di prodotti confezionati con una superficie diverse volte superiore a quella dei wafer di silicio da 300 mm. La tecnologia FOPLP è un'estensione della tecnologia FOWLP. Esegue il processo Fan-Out su una scheda di supporto quadrata più grande, da cui il nome di tecnologia di packaging FOPLP. La scheda di supporto del pannello può essere una scheda PCB o una scheda di supporto in vetro per pannelli LCD. Attualmente, il FOPLP utilizza una scheda PCB da 24-18 pollici (610-457 mm), la cui area è circa 4 volte quella di un wafer di silicio da 300 mm. Pertanto, può essere considerato un singolo processo in grado di produrre in serie prodotti di packaging avanzati con una superficie 4 volte maggiore rispetto a un wafer di silicio da 300 mm. Come il processo FOWLP, la tecnologia FOPLP può integrare i processi front-end e back-end del packaging. Può essere considerato un processo di packaging unico, riducendo significativamente i costi di produzione e dei materiali. L'immagine sottostante mostra il confronto tra FOWLP e FOPLP.
Rispetto agli interposer in silicio, i wafer di silicio EMIB sono più piccoli, più flessibili e più economici. La tecnologia di packaging EMIB consente di integrare CPU, I/O, GPU e persino FPGA, chip AI e altri componenti, a seconda delle necessità. È in grado di integrare chip a 10 nm, 14 nm, 22 nm e altri processi produttivi in un unico chip, per soddisfare le esigenze di un mercato flessibile.
Grazie alla tecnologia EMIB, la piattaforma KBL-G integra processori Intel Core e GPU AMD Radeon RX Vega M. Combina le potenti capacità di calcolo dei processori Intel con le eccellenti capacità grafiche delle GPU AMD, offrendo al contempo un'ottima esperienza di raffreddamento. Questo chip ha fatto la storia, portando l'esperienza utente a un livello superiore.
Basato sull'estensione dell'asse Z Tecnologia di confezionamento avanzata
La tecnologia di packaging avanzata basata sull'estensione dell'asse Z utilizza principalmente i TSV (Through-Silicon Via) per l'estensione e l'interconnessione dei segnali. I TSV possono essere suddivisi in TSV 2.5D e TSV 3D. Grazie alla tecnologia TSV, è possibile impilare e interconnettere verticalmente più chip.
Nella tecnologia TSV 3D, i chip sono molto vicini tra loro, quindi il ritardo è ridotto. Inoltre, la lunghezza ridotta dell'interconnessione può ridurre gli effetti parassiti correlati, consentendo al dispositivo di funzionare a frequenze più elevate, il che si traduce in miglioramenti delle prestazioni e maggiori riduzioni dei costi. La tecnologia TSV è una tecnologia chiave per il packaging tridimensionale. Istituti di ricerca, tra cui produttori di semiconduttori integrati, fonderie di circuiti integrati, fonderie di packaging, sviluppatori di tecnologie emergenti, università e istituti di ricerca e alleanze tecnologiche, hanno condotto diverse attività di ricerca e sviluppo sui processi TSV. Inoltre, è importante notare che, sebbene la tecnologia di packaging avanzata basata sull'estensione dell'asse Z esegua principalmente l'estensione del segnale e l'interconnessione tramite TSV, anche RDL è indispensabile. Ad esempio, se i TSV dei chip superiore e inferiore non possono essere allineati, è necessaria un'interconnessione locale tramite RDL. 5.CoWoSCoWoS (Chip-on-Wafer-on-Substrate) è una tecnologia di packaging 2.5D lanciata da TSMC. CoWoS prevede il packaging del chip su una scheda adattatrice in silicio (interposer), l'utilizzo di un cablaggio ad alta densità sulla scheda adattatrice in silicio per l'interconnessione e il successivo montaggio sul substrato di packaging, come mostrato nella figura seguente.
TSMC ha avviato la produzione di massa di CoWoS nel 2012. Grazie a questa tecnologia, più chip vengono assemblati e interconnessi tramite un interposer di silicio ad alta densità, ottenendo i vantaggi di dimensioni ridotte, elevate prestazioni, basso consumo energetico e un numero inferiore di pin.
La tecnologia CoWoS è ampiamente utilizzata. Il chip GP100 di Nvidia e il TPU2.0 di Google, alla base di AlphaGo che ha sconfitto Ke Jie, utilizzano entrambi la tecnologia CoWoS. Anche l'intelligenza artificiale (IA) beneficia del contributo di CoWoS. Attualmente, CoWoS ha ricevuto il supporto di produttori di chip di fascia alta come NVIDIA, AMD, Google, XilinX e Huawei HiSilicon.
6.HBMHBM (High-Bandwidth Memory) è una memoria ad alta larghezza di banda, destinata principalmente al mercato delle schede grafiche di fascia alta. HBM utilizza le tecnologie 3D TSV e 2.5D TSV per impilare più chip di memoria tramite 3D TSV e 2.5D TSV per interconnettere i chip di memoria impilati e le GPU sulla scheda di supporto. La figura seguente mostra uno schema della tecnologia HBM.
La tecnologia di packaging Co-EMIB può offrire prestazioni paragonabili a quelle di un singolo chip. La chiave per raggiungere questo risultato è la tecnologia di interconnessione omnidirezionale ODI (Omni-Directional Interconnect). ODI si presenta in due diverse tipologie. Oltre alle connessioni a "ascensore" che collegano i diversi strati, esistono anche i collegamenti "overpass" che uniscono diverse strutture tridimensionali, nonché i "mezzani" tra gli strati, consentendo alle diverse combinazioni di chip di avere un'elevatissima flessibilità. La tecnologia di packaging ODI permette ai chip di realizzare interconnessioni sia orizzontali che verticali.
Co-EMIB utilizza un nuovo metodo di packaging 3D + 2D per rivoluzionare la progettazione dei chip, passando dal concetto di puzzle piatto del passato a quello di blocchi impilabili. Pertanto, oltre a architetture di calcolo rivoluzionarie come il calcolo quantistico, si può affermare che Co-EMIB rappresenta la migliore pratica per il mantenimento e l'evoluzione dell'architettura e dell'ecosistema di calcolo esistenti.11.SoIC
SoIC, noto anche come TSMC-SoIC, è una nuova tecnologia proposta da TSMC - System-on-Integrated-Chips. Si prevede che la tecnologia SoIC di TSMC entrerà in produzione di massa nel 2021. Cos'è esattamente SoIC? Il cosiddetto SoIC è un'innovativa tecnologia multi-chip stack in grado di integrare processi a livello di wafer al di sotto dei 10 nanometri. La caratteristica più distintiva di questa tecnologia è la struttura di incollaggio senza bump, che si traduce in una maggiore densità di integrazione e migliori prestazioni operative. SoIC comprende due forme tecniche: CoW (Chip-on-wafer) e WoW (Wafer-on-wafer). Secondo la descrizione di TSMC, SoIC è una tecnologia di incollaggio diretto (Bonding) da wafer WoW a wafer o da chip CoW a wafer, che appartiene alla tecnologia Front-End 3D (FE 3D), mentre le già citate InFO e CoWoS appartengono alla tecnologia Back-End 3D (BE 3D). TSMC e Siemens EDA (Mentor) collaborano sulla tecnologia SoIC e lanciano strumenti di progettazione e verifica correlati. La figura seguente confronta l'integrazione di circuiti integrati 3D e SoIC.
Riassumere Tecnologia di confezionamento avanzataIn questo articolo descriviamo 12 delle tecnologie di packaging avanzato più diffuse al giorno d'oggi. La tabella seguente confronta orizzontalmente queste tecnologie.
Dal confronto, possiamo osservare che l'emergere e il rapido sviluppo del packaging avanzato si sono verificati principalmente negli ultimi 10 anni. La sua tecnologia di integrazione comprende principalmente 2D, 2.5D, 3D, 3D+2D e 3D+2.5D. Anche la densità funzionale include livelli basso, medio, alto ed estremamente alto. I campi di applicazione comprendono 5G, intelligenza artificiale, dispositivi indossabili, dispositivi mobili, server ad alte prestazioni, calcolo ad alte prestazioni, schede grafiche ad alte prestazioni e altri settori. I principali produttori di applicazioni includono noti produttori di chip come TSMC, Intel e Samsung, il che riflette anche la tendenza all'integrazione tra packaging avanzato e produzione di chip.
In conclusione, riassumiamo: lo scopo del packaging avanzato è:
Migliorare la densità funzionale, ridurre la lunghezza delle interconnessioni, migliorare le prestazioni del sistema e diminuire il consumo energetico complessivo.
Il packaging avanzato impone nuovi requisiti anche agli strumenti EDA. Questi strumenti devono supportare la progettazione FIWLP, FOWLP, 2.5DTSV e 3D TSV, nonché la progettazione multi-substrato. Poiché l'interposer in silicio e il substrato di packaging (Substrate) sono spesso integrati in un unico prodotto, le principali aziende EDA hanno lanciato nuovi strumenti per supportare la progettazione e la verifica del packaging avanzato, tra cui Synopsys, Cadence e Siemens EDA (Mentor), che è attivamente coinvolta.
La figura seguente mostra uno screenshot della progettazione avanzata del packaging realizzata con lo strumento Siemens EDA XPD. Il progetto include TSV 3D e TSV 2.5D, interposer, substrato, flip-chip, microbump, BGA e altri elementi, che sono riprodotti in dettaglio e con precisione nello strumento EDA. Per i metodi di progettazione dettagliati del packaging avanzato, si prega di fare riferimento al nuovo libro "Microsystems Based on SiP Technology" di prossima pubblicazione.
Esempio di progettazione avanzata di packaging (screenshot del progetto Siemens EDA XPD)
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